最后一次还需要用无氧超纯水冲洗。冲洗干净后，还要烘干。”范学东又向他们科普了一番。

    “啪啪啪！”郭东蹲着仔细思考了一番就站起来拍了拍手掌说：“好啦！大家也了解的差不多了，我刚才仔细地思考了一下，发现问题还很复杂，远远不是老板所说的几台机器那么简单。”

    说完，他就走到一张画图的办公桌边，拿了一张绘图纸和一支笔，先勾画了一个抽象的草图。他指着图上的两个图案说：“我把整套设备规划成两部分，一部分是不需要的氩气环境下工作的，另一部分是必须集成到氩气环境下工作的。我先讲前一部分。”

    说完他就又拿笔在纸上画了几个示意草图，他拿笔指着其中一个说：“我们首先要切断，因为是大物体切断所以不需要太精密，我设想就是一台机床就可以了，反正后续还有许多加工处理步骤。不过要注意，在切断的时候要加防氧化油，把棒材的两个横载面涂抹油，目的是防止氧化。”

    说完这些他就又用笔指着另外一个图案说：“切断之后就要把硅棒滚圆，使它符合硅晶圆基片的大小要求，并且保持整根棒材圆整度的一致性，在这个加工步骤中，也要加防氧化油，使整根棒材外表有油保护，防止氧化。”

    说到这里，他又用笔指着另一个图标说道：“到了这一步，就必须在氩气环境内进行下一步了，因此，我们必须把去油、清洗和烘干这三个步骤集成到整个系统里面。防止硅晶棒暴露在空气中而被氧化。”

    “等等，郭部长，清洗和烘干这两个步骤，光刻机、离子注入机和CVD机都要用到，而且你还忘了，回火这个步骤，单硅晶棒在切薄片的时候，因温度过高的原因会变形，因此需要回火。”范学东毕竟是专业人士，比他们更了解整个制程工艺。因此出言提醒了郭东。

    “谢谢你的提醒！范先生。”郭东不知如何称呼他的职务，只好叫他先生了。

    “没什么，我们不是一起解决问题嘛！”

    范学东摇着手，客气道。

    “好！既然是这样，那我们就把烘干炉和回火炉集合成一体，只需要加一个温度调节就解决了。”郭东用拿笔的右手重重地捶了一下桌子说出了自已的想法。

    说完他又皱起了眉头，然后像自言自语地说道：“不过这样一来，老板说的一条轨道远远不够，长长短短可能要十多条，像一条复杂的铁路系统了。只不过很短吧了。”

    “我想的也差不多，整套系统绝不简单，我们要把里里外外都考虑清楚了，再开始设计，尽量减少不必要的错误。”卢汝成是在场地位最高的，还超过了他以前的顶头上司郭东，因此他没有顾虑的发表了自已的意见。

    “嗯！卢总说得不错，那我们休会一个小时，大家都思考思考。”郭东作为主人，作了决定。

    郭东说完，大家都找座位坐下。每个人都在拼命地思考，在心里描绘出整个系统的雏形，设想怎样才更合理。

    “咚咚”过了一个小时，郭东准时敲响了桌子，将大家从思考中惊醒过来。

    他见大家都注意到了自已就开始说道：“由于人数较多，就不一个个发言了，时间不允许。我说出我的想法，有什么不对的大家补充。”

    他没等大家回答，组织了思路就开始说了：“我把去油、清洗、烘干和切片集成在一条轨道上，具体步骤按我说的顺序来。切完的硅片通机械臂输送到烘干室也就是回火炉回火，然后再送到对面的打磨机。并且机械臂的托盘必须要是真空吸盘，因为硅片很薄，不能用机械的方式传输，否则会损伤硅片。同理打磨托盘也要是真空吸盘式，肯定不能用卡钳的方式，否则损伤更大。上胶机必须设计两部，两种不同的胶不能混和在一起，否则会有互相沾染的危险。最重要的是上完胶要有一

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